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超高純度希ガス精製装置 (QGP-3000R)
- ゲッター式精製
- Ar, He, Ne, Xe, Kr等、希ガス中のH2O, O2,
CO, CO2, CxHy, H2,N2不純物をSub-ppbレベルまで除去します
- 流量： 3 liter/min(Nominal)
- 精製出口圧力設定可能
- 小型・軽量・安価
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自動ガス希釈装置 (QAGB-UHP-01)
- マスフローコントローラを組合せた全自動ガス希釈装置
- ガス流量、ガス種、不純物濃度、希釈ガス出口圧力、シーケンスプログラム設定可
- 液晶タッチパネルによる操作
- 標準ガスの正確な希釈が容易
- 任意濃度の校正ガスを一定圧力で発生
（標準希釈倍率1/1000、標準発生流量2000cc/min）
- デッドスペース・フリー
- 小型・軽量・安価
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ポータブル型ガス希釈器 (QGB-UHP-01)
- マスフローコントローラを組合せ、ポータブルなガス希釈器
- 標準ガスの正確な希釈が容易
- 任意濃度の校正ガスを一定圧力で発生
（標準希釈倍率1/1000、標準発生流量2000cc/min）
- デッドスペース・フリー
- 小型・軽量・安価
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自動UHPサンプルガス切替装置 (QASS-UHP-01-5)
- マイクロコンピュータ内蔵
- 最大５サンプルの自動切替可能
- 自動サンプルラインパージ （サンプル切替時）
- ウルトラクリーン部材のみで構成
- 外部リーク・フリー
- パーティクル・フリー
- デッドスペース・フリー
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自動マルチポート・サンプリング・システム
(QMASS-01-16)
- ロータリーバルブによるポート自動選択
- 最大16サンプルの自動切替可能
- 液晶タッチパネルによる設定
- 各ポート選択、各ポート運転時間設定可能
- 現在ポート、選択ポート経過時間自動表示
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ＮＱＴラックシステム
- 各種分析計
- パージ機能付サンプルガス供給系（レギュレータ、バルブ等）
- 校正ガスブレンダー
- データ収集コンピュータ
- プリンター
- その他、カスタム対応可能
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